ドライ真空ポンプ（EV-PA型）
本知財は、荏原製作所が開発した新型空冷式ドライ真空ポンプ。半導体製造装置、分析装置、殺菌前の空気排出処理、食品保存、コーティングなど、あらゆる場面におけるクリーンな真空環境を実現する。主流である空冷式ポンプと比較して圧倒的に小型・軽量であるため、比較的ボリュームの小さい空間内にクリーンな真空環境を得たい場合に威力を発揮する。将来的には産業用途に留まらず、家庭ゴミのコンパクト化など、一般市民に対して真空を身近にする効果も期待される。
なにがすごいのか？
- よりクリーンな真空環境を身近に実現
- 10~20kgにコンパクト化することで運搬を容易に
- 電源さえあれば動作可能
- ポンプのメンテナンス頻度を低減
なぜ生まれたのか？
分析・医療・食品・コーティングといった微細なコントロールを必要とする場面において、クリーンな真空環境は必須である。そういった場面はしばしば、非常に高い到達真空度を必要とするが、真空の質を高めることは容易ではない。これを受けて荏原製作所は、半導体業界で培った独自技術を活かすことで、よりクリーンな真空環境を生み出しユーザーフレンドリーなドライ真空ポンプを普及させるべく、本知財の開発に至った。
